REFLEX TT型台式手动晶片缺陷检测仪

 

  

REFLEX TT型台式表面检测设备用于检测晶片表面颗粒、划痕，区域缺陷和微粗糙（Haze）。该检测设备可用于不同形状、尺寸的样片：2”至300mm的晶片，和最大尺寸为8”*8”方形掩膜版。采用了先进的激光二极管光源和具有专利权的光学收集系统。该设备是非常灵活的设备，可用于研发和小规模生产中的工艺优化和杂质的检测。

                                              

产品特点：

颗粒敏感度可达到65nm LSE;

激光暗场测量技术；

可用于各种形状的，尺寸的晶片；

集成的微处理器和平板显示；

可进行离线分析；

自动缺陷分类软件。

 

 

 

产品优势：

理想的工艺研发工具；

操作界面友好；

多用户界面；

占地面积小。

 

应用范围：

硅；

玻璃；

掩膜版；

半导体化合物：GaAs,GaN,GaAlN…

硅衬底上的透明薄膜；

金属薄膜；

非晶硅、多晶硅；

OLED

先进的光伏材料。