450科研型分子束外延系统
R450是紧凑型MBE系统,用于最大3英寸衬底的外延生长
所属分类:
半导体
分子束外延设备
案例详情
R450 是紧凑型的MBE系统,用于最大3英寸的衬底的外延生长。
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