Flex ion 200/400中束流离子注入设备

◆注入离子能量200KeV或400KeV双电荷注入可达到800KeV

◆三电荷注入可达到1200KeV

◆IHC离子源

◆扩大的注入离子装载能力

◆可同时配有4个2.2L气罐

◆可配有4路惰性气路

◆注入离子的原子质量可达到218AMU