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全自动晶圆输送机
功能概述
技术指标
安装条件
◆兼容 FOSB 和 FOUP
◆真空叉形机械手和伯努利式机械手(选项)
◆智能视觉晶圆定位
◆晶圆ID光学字符识别(选项)
◆晶圆背面大缺陷检测
◆可集成显微镜检查(选项)
◆可兼容晶圆输送盒(选项)
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