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全自动晶圆输送机

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全自动晶圆输送机

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功能概述
技术指标
安装条件

◆兼容 FOSB 和 FOUP

◆真空叉形机械手和伯努利式机械手(选项)

◆智能视觉晶圆定位

◆晶圆ID光学字符识别(选项)

◆晶圆背面大缺陷检测

◆可集成显微镜检查(选项)

◆可兼容晶圆输送盒(选项)

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