全自动晶圆贴膜机

◆可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟

◆对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和扫描

◆晶圆斜片刻痕检测

◆自动从晶圆盒中拾取晶圆

◆先进的4轴机械臂，包括马达驱动的反转器

◆智能视觉晶圆定位

◆智能晶圆ID读取

◆SEC-GEMS兼容