全自动晶圆贴膜机
◆可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟◆对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和扫描◆晶圆斜片刻痕检测◆自动从晶圆盒中拾取晶圆◆先进的4轴机械臂，包括马达驱动的反转器◆智能视觉晶圆定位◆智能晶圆ID读取◆SEC-GEMS兼容
所属分类：
半导体
晶片处理设备
案例详情
◆可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟
◆对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和扫描
◆晶圆斜片刻痕检测
◆自动从晶圆盒中拾取晶圆
◆先进的4轴机械臂，包括马达驱动的反转器
◆智能视觉晶圆定位
◆智能晶圆ID读取
◆SEC-GEMS兼容
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