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全自动晶圆贴膜机

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全自动晶圆贴膜机

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功能概述
技术指标
安装条件

◆可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟

◆对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和扫描

◆晶圆斜片刻痕检测

◆自动从晶圆盒中拾取晶圆

◆先进的4轴机械臂,包括马达驱动的反转器

◆智能视觉晶圆定位

◆智能晶圆ID读取

◆SEC-GEMS兼容

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· 可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟

· 对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和扫描

· 晶圆斜片刻痕检测

 

· 先进的4轴机械臂,包括马达驱动的反转器

· 智能视觉晶圆定位

· 智能晶圆ID读取

· SEC-GEMS兼容

暂未实现,敬请期待
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