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离子注入工艺代工

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离子注入工艺代工

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功能概述
技术指标
安装条件

量产代工服务

◆标准注入工艺:为暂时没有注入机的客户或者需要增加产能的客户提供标准注入工艺的服务;

◆Back-up: 为客户提供备用机台,当客户产线意外停产,当晶圆尺寸需要升级时……

 

研发代工服务

◆离子注入工艺开发:为客户提供生产开发,测试和评估

◆不同衬底材料,不同形状

◆特殊离子注入

◆冷/热注入,不同注入角度

 

SIC注入服务

◆- 80°C至+600°C注入

◆适用于小样品至6”晶圆

◆可注入Si、B、Al、N、C、P等

◆注入能量5- 400keV

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