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半导体湿化学工艺设备
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◆手动湿化学处理
◆半自动和全自动湿化学处理
◆石英清洗台
◆无金属清洗台
◆客户定制单元
◆化学品供应系统
◆(包括泵和压力系统)
可提供高端的湿化学处理设备用于处理晶圆，MEMS和MRAM。产品范围包括用于研发的手动清洗台，半自动系统和全自动的化学表面处理系统例如清洗，刻蚀和干燥。
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