半导体湿化学工艺设备

◆手动湿化学处理

◆半自动和全自动湿化学处理

◆石英清洗台

◆无金属清洗台

◆客户定制单元

◆化学品供应系统

◆(包括泵和压力系统)

可提供高端的湿化学处理设备用于处理晶圆，MEMS和MRAM。产品范围包括用于研发的手动清洗台，半自动系统和全自动的化学表面处理系统例如清洗，刻蚀和干燥。