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TUBESTAR研发型扩散炉

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TUBESTAR研发型扩散炉

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案例详情

◆槽型管式扩散炉

◆可用于扩散、LPCVD、氧化

◆1-4个独立炉管

◆每炉管可放50片晶圆

◆占地面积小

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