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MEMSLAB直接式PECVD

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MEMSLAB直接式PECVD

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案例详情

◆槽型管式扩散炉

◆可用于扩散、LPCVD、氧化

◆4个独立炉管

◆每炉管可放200片晶圆

◆最大可兼容200mm晶圆

◆最佳的均匀性

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