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MEMSLAB直接式PECVD
案例详情
◆槽型管式扩散炉
◆可用于扩散、LPCVD、氧化
◆4个独立炉管
◆每炉管可放200片晶圆
◆最大可兼容200mm晶圆
◆最佳的均匀性
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