MEMSLAB直接式PECVD
◆槽型管式扩散炉◆可用于扩散、LPCVD、氧化◆4个独立炉管◆每炉管可放200片晶圆◆最大可兼容200mm晶圆◆最佳的均匀性
所属分类：
扩散炉
案例详情
◆槽型管式扩散炉
◆可用于扩散、LPCVD、氧化
◆4个独立炉管
◆每炉管可放200片晶圆
◆最大可兼容200mm晶圆
◆最佳的均匀性
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