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MEMSLAB研发型PECVD
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◆直接式等离子体，低射频
◆无夹痕，薄膜颜色均匀
◆每次最多25片晶圆
◆最大兼容200mm晶圆
◆原位清洁
◆用于SiN、SiON、a:Si、SiC、SiCxNY
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