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MEMSLAB研发型PECVD

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◆直接式等离子体,低射频

◆无夹痕,薄膜颜色均匀

◆每次最多25片晶圆

◆最大兼容200mm晶圆

◆原位清洁

◆用于SiN、SiON、a:Si、SiC、SiCxNY

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