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OTFC系列真空镀膜装置

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OTFC系列真空镀膜装置

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案例详情

OTFC系列是使用离子辅助镀膜方法,用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

 

设备特点

◆真空室尺寸:Φ600-1800mm

◆60点/80点式光学膜厚监控

◆使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

◆双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上

◆利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

◆工件架可选择钟罩式或行星式

排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

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