OTFC系列真空镀膜装置
OTFC系列是使用离子辅助镀膜方法,用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。 设备特点◆真空室尺寸:Φ600-1800mm◆60点/80点式光学膜厚监控◆使用均匀分布的高离子电流密度的离子源◆双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上◆利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程◆工件架可选择钟罩式或行星式排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
所属分类:
光学镀膜设备
案例详情
OTFC系列是使用离子辅助镀膜方法,用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
设备特点
◆真空室尺寸:Φ600-1800mm
◆60点/80点式光学膜厚监控
◆使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
◆双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
◆利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
◆工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
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