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◆手动湿化学处理◆半自动和全自动湿化学处理◆石英清洗台◆无金属清洗台◆客户定制单元◆化学品供应系统◆(包括泵和压力系统)可提供高端的湿化学处理设备用于处理晶圆,MEMS和MRAM。产品范围包括用于研发的手动清洗台,半自动系统和全自动的化学表面处理系统例如清洗,刻蚀和干燥。
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