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OTFC系列是使用离子辅助镀膜方法,用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。 设备特点◆真空室尺寸:Φ600-1800mm◆60点/80点式光学膜厚监控◆使用均匀分布的高离子电流密度的离子源◆双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上◆利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程◆工件架可选择钟罩式或行星式排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
Gener系列是为减反射光学薄膜的大批量生产而设计制作的光学镀膜机。◆采用磁流体密封技术的中心旋转式基板架,保证薄膜产品的重复性与均匀性◆优化的排气特性和升温能力使镀膜时间缩短可以加装用于对应高精度AR镀膜的多层膜用可靠的光控仪(optional)
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