可移动的源法兰和上下分体式冷屏 可提供两套冷屏 冷屏可在2个工作日内更换 可用于外延生长GaAs, GaSb, InP, GaN材料 适用于用于4×4”, 7×3”, 1 x 200 mm, 1×6” and 14×2”衬底尺寸
可移动的源法兰和上下分体式冷屏、 可配备12个源口、 冷屏可在1个工作日内更换、 可用于外延生长GaAs, GaSb, InP, CdTe, HgCdTe, ZnO and GaN材料、 适用于用于4”, 3”，2”衬底尺寸
