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可移动的源法兰和上下分体式冷屏、
可配备12个源口、
冷屏可在1个工作日内更换、
可用于外延生长GaAs, GaSb, InP, CdTe, HgCdTe, ZnO and GaN材料、
适用于用于4”, 3”,2”衬底尺寸
可移动的源法兰和上下分体式冷屏
可提供两套冷屏
冷屏可在2个工作日内更换
可用于外延生长GaAs, GaSb, InP, GaN材料
适用于用于4×4”, 7×3”, 1 x 200 mm, 1×6” and 14×2”衬底尺寸
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