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可移动的源法兰和上下分体式冷屏、 可配备12个源口、 冷屏可在1个工作日内更换、 可用于外延生长GaAs, GaSb, InP, CdTe, HgCdTe, ZnO and GaN材料、 适用于用于4”, 3”,2”衬底尺寸
R450是紧凑型MBE系统,用于最大3英寸衬底的外延生长
可移动的源法兰和上下分体式冷屏 可提供两套冷屏 冷屏可在2个工作日内更换 可用于外延生长GaAs, GaSb, InP, GaN材料 适用于用于4×4”, 7×3”, 1 x 200 mm, 1×6” and 14×2”衬底尺寸
可根据客户的特殊需求提供定制系统。
提供给各种型号的泄流源,裂解源和其它源。
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