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◆兼容FOSB和FOUP◆真空叉形机械手和伯努利式机械手(选项)◆智能视觉晶圆定位◆晶圆ID光学字符识别(选项)◆晶圆背面大缺陷检测◆可集成显微镜检查(选项)◆可兼容晶圆输送盒(选项)
◆可以操作晶圆盒和直接操作晶圆舟◆对晶圆盒或晶圆匣中的晶圆进行定位和扫描◆晶圆斜片刻痕检测◆自动从晶圆盒中拾取晶圆◆先进的4轴机械臂,包括马达驱动的反转器◆智能视觉晶圆定位◆智能晶圆ID读取◆SEC-GEMS兼容
◆手动贴膜◆手动上膜◆兼容UV膜◆自动倒带◆手动切膜◆手动移除多余的膜◆手动放置晶圆和晶圆架◆手动取下贴过膜的晶圆◆接触或非接触式吸盘◆快速产品切换
◆可处理200毫米和300毫米的晶圆◆晶圆转移、整理、分割、合并、反向、随机、压缩晶圆地段、包装/拆包、等等◆晶圆营运:FOUP/FOSB,8寸晶圆,晶圆盒◆晶圆营运识别(RFID标记/条形码标签)◆13及25条插槽◆智能晶圆绘图和晶圆跨槽检测◆可处理伯努利薄晶圆◆简易的视窗界面◆晶圆背面/边缘检查◆SEC-GEMS兼容
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